385×280×420 450×350×820 470×260×516

-0.098(2KPa) 0.09mbar 0.1mbar 0.5mbar 0.6torr 1.5mtorr 120mbar 15-20 mbar 1mbar 20 2mbar 75mbar 8mbar 8~15mbar（空载） ＜1x10-2mbar ＜2mbar ＜2x10-3mbar ＜75mbar ＜8mbar

100 113.3 1166 120 13.3 138 138.3 151.7 16.7 162 1666 183 183.3 20 200 237 257 258.3 266.6 2666 30 300 3166 33 33.3 34 36.7 38.3 4000 43.3 59 62 63.3 666 75 76 8.3 80 81.7 96 96.6 97

1 个自动和 1 个手动流量控制接口 1 个自动和1个手动流量控制接口 不带流量控制 不带流量控制 不带流量控制，2 个真空接口 不带流量控制，2个真空接口 不带流量控制，无冷凝管 变频控制型 带自动流量控制器

0.01

24个/箱 4个/箱

0.098

15 18 57

旋片泵 无油真空泵、活塞泵 真空泵 隔膜真空泵

1 bar

120 146 40